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ICS23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准化指导性技术文件
GB/ZXXXXX—XXXX/ISO/TS6737：2023
`
真空技术真空计稳定型电离真空计特性
Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Characteristicsforastableionisation
vacuumgauge
(ISO/TS6737:2023,IDT)
（工作组讨论稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
GB/ZXXXXX—XXXX/ISO/TS6737：2023
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO/TS6737:2023《真空技术真空计稳定型电离真空计特性》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国机械工业联合会提出。
本文件由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。
本文件起草单位：兰州空间技术物理研究所、沈阳真空技术研究所有限公司、沈阳汇真真空技术有
限公司。
本文件主要起草人：张虎忠、王玲玲。
I
GB/ZXXXXX—XXXX/ISO/TS6737：2023
引言
[1]
电离真空计是目前已知的唯一一种可以覆盖高真空和超高真空的真空测量仪器。在许多重要应用
场合对该仪器的精度、重复性及已知多种气体的灵敏度特性提出了更高的要求，而这些正是目前所有类
型的电离真空计所欠缺的。该标准旨在描述一种稳定型电离真空计的特征。其具备以下优势：测量准确、
结构坚固、长期稳定性好，具有已知的氮气灵敏度及相对灵敏度因子参数，且能由任何具有电离真空计
生产经验的制造商进行制造。
II
GB/ZXXXXX—XXXX/ISO/TS6737：2023
真空技术真空计稳定型电离真空计特性
1范围
[2]
本文件描述了一种特殊设计的电离真空计，其具有明确的电子路径长度。基于该结构设计，该真
[3][4]
空计具有测量精度高、长期稳定性好，且对于氮气的灵敏度及相对灵敏度因子均具有良好的复现性，
-6-2
适用于测量范围10Pa~10Pa。
本文件仅描述与电子和离子运动轨迹相关的规管尺寸及电势，不涉及电离真空计运行所需的电子学
单元的详细描述。该规管能通过市售电压源、电源及电流表驱动，也能使用专门设计的控制单
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