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四探针扫描隧道显微镜的升级改造及对石墨烯输运性质研究的推动

一、绪论

1.1扫描隧道显微镜概述

1.1.1工作原理

扫描隧道显微镜（ScanningTunnelingMicroscope，STM）的工作原理基于量子隧穿效应。在量子力学中，电子具有波动性，即使电子的能量低于势垒的高度，它仍有一定概率穿过势垒，这种现象被称为量子隧穿。在STM中，将一个原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近（通常小于1nm）时，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极，从而形成隧道电流。隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有着指数依赖关系，当距离减小0.1nm，隧道电流即增加约一个数量级。

为了精确控制针尖与样品之间的距离，STM利用了压电效应与逆压电效应。压电材料在受到电场作用时会发生微小的形变，反之，当对压电材料施加压力时，其两端会产生电压。通过在压电陶瓷上施加不同的电压，可以精确控制针尖在三维空间中的位置，实现对样品表面的扫描。

STM还包含一个反馈回路，用于保持隧道电流的恒定。当针尖在样品表面扫描时，如果样品表面存在原子尺度的起伏，针尖与样品之间的距离会发生变化，从而导致隧道电流的改变。反馈系统会根据隧道电流的变化，实时调整施加在压电陶瓷上的电压，使针尖与样品之间的距离保持恒定，针尖随着样品表面的高低起伏而作相应的运动。通过记录针尖在扫描过程中的运动轨迹，就可以得到样品表面的形貌信息，实现原子级分辨率成像。

1.1.2系统构成

扫描隧道显微镜主要由以下几个部分构成：

机械装置：用于支撑和固定各个部件，保证系统的稳定性。通常采用高精度的机械结构，减少外界震动对测量的影响。例如，使用减震平台来隔离实验室环境中的震动，确保针尖与样品之间的相对位置稳定。

隧道针尖：是STM的关键部件之一，其大小、形状和化学性质对成像分辨率和测量结果有重要影响。针尖通常采用直径小于1mm的细金属丝，如钨丝、铂-铱合金丝等。制备针尖的方法主要有电化学腐蚀法、机械成型法等。为了获得原子级分辨的图象，要求针尖的尖端只有一个稳定的原子，并且表面化学纯度高，避免存在氧化层或杂质，以保证隧道电流的稳定性。

三维扫描控制器：利用压电陶瓷的压电效应，实现对针尖在x、y、z三个方向上的高精度控制。通过在压电陶瓷上施加不同的电压，可以精确控制针尖在样品表面的扫描轨迹和与样品之间的距离，扫描范围可从数纳米到一百微米。

电子学系统：负责产生和控制扫描所需的电压信号，检测隧道电流，并将其转换为数字信号传输给计算机进行处理。电子学系统还包含反馈回路，用于保持隧道电流的恒定，确保STM的稳定运行。

数模转换部分：将电子学系统输出的模拟信号转换为数字信号，以便计算机进行处理和分析。同时，也将计算机发出的控制信号转换为模拟信号，控制三维扫描控制器和其他部件的工作。

计算机：用于控制STM的运行，采集和处理数据，以及显示和分析测量结果。通过专门的软件，用户可以设置扫描参数，实时观察样品表面的形貌图像，并对数据进行进一步的处理和分析。

1.1.3应用领域

扫描隧道显微镜凭借其原子级分辨率和对样品表面电子结构的探测能力，在众多领域得到了广泛应用：

表面科学：STM能够实时观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质，为表面物理和化学研究提供了重要手段。例如，研究金属表面的原子吸附和化学反应过程，揭示催化剂表面的活性位点和反应机理，有助于开发更高效的催化剂。

材料科学：在纳米材料研究中，STM可用于表征材料的表面形貌、结构和电学性质，帮助研究人员理解材料的性能与微观结构之间的关系。例如，观察碳纳米管的原子结构和缺陷，研究石墨烯的电子态和边缘结构，为材料的设计和优化提供依据。

生命科学：STM可以在接近生理条件下对生物样品进行成像，观察生物分子如DNA、蛋白质等的结构和相互作用，为生命科学研究提供了新的视角。例如，研究DNA的双螺旋结构和碱基对的排列，探索蛋白质的折叠和功能机制，有助于揭示生命过程的奥秘。

半导体器件：在半导体制造过程中，STM可用于检测和分析半导体表面的缺陷、杂质分布和电学特性，对提高半导体器件的性能和可靠性具有重要意义。例如，研究半导体芯片表面的原子台阶和位错，优化器件的制备工艺，提高芯片的集成度和性能。

纳米技术：STM不仅是一种重要的测量工具，还可以作为纳米加工的关键技术。通过STM针尖与样品表面的相互作用，可以实现对单个原子和分子的操纵，如原子的移动、提取和放置，为构建纳米级器件和结构提供了可能。

1.2多探针扫描隧道显微镜发展

1.2.1发展历程

多探针扫描隧道显微镜的发展是随着对材料微观结构和性质研究的深入需求而逐步推进的