椭圆偏振光法测定介质薄膜厚度与折射率实验报告.pdfVIP

——6系04级P

实验题目：椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率

实验目的：了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。

实验原理：

椭圆偏振光经薄膜系统反射后，偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只

要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次近定出膜厚和折射率。参数Δ描述

椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发生的变化，ψ描述椭圆偏振光相

对振幅的衰减。有方程：

tanψEprEpi

=



EsrEsi

Δ=β−β−β−β

(prsr)(pisi)

1

为简化方程，将线偏光通过方位角±45°的波片后，就以等幅椭圆偏振光出射，

4

E=E；改变起偏器方位角φ就能使反射光以线偏振光出射，

pisi

°，化简为：

Δ=(β−β)=0或π

prsr

tanψ=EprEsr

Δ=−(βpi−βsi)

实验仪器：

1

分光计、He-Ne激光器及电源、起偏器、检偏器、波片，待测样品、黑色反光镜、

4

放大镜等；

实验内容：

1.按调分光计的方法调整好主机.

2.水平度盘的调整.

——Series6Class04LiJiP

Experimentaltopic:Determinationofthethicknessandrefractiveindexof

dielectricfilmbyellipticalpolarizationmethod

Experimentalpurpose:Understandtheprincipleofellipsometermeasuringfilmparametersandinitiallymasterthe

useofreflectiveellipsometers.

Experimental

principle:

Aftertheellipticalpolarizedlightisreflectedbythethinfilmsys