微机电系统（MEMS）技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法.pdfVIP

国家标准征求意见资料

国家标准《微机电系统（MEMS）技术压电微悬臂梁机电转

换特性的测试方法》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、任务来源

本项目是根据国家标准化管理委员会关于下达2024年第七批推荐性国家标

准计划及相关标准外文版计划的通知（国标委发[2024]44号文），计划编号T-469,由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）（以下简

称标委会）提出并归口。负责起草单位为：湖北美的电冰箱有限公司、中机生

产力促进中心有限公司等，计划完成时间2026年。

2、制定背景

本标准为制定标准，等同采用IEC62047-42:2022《半导体器件微机电器

件第42部分：压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》。

压电式微悬臂梁的机电性能决定着MEMS器件的设计和使用寿命，因此准确测

量压电式微悬臂梁的机电特性是相关MEMS产品的重要支撑技术之一。但是由于压

电悬臂梁的机电转换特性的测试技术不是十分成熟，因此制定规范压电微悬臂梁

机电转换特性的测试方法，有助于MEMS器件设计和制造工艺的优化。

3、起草过程

预研阶段：

作为IEC/TC213国内技术对口单位，中机生产力促进中心有限公司组织相

关专家长期跟踪IEC62047-22:2022国际标准动态。2024年5月，完成了该国

际标准的翻译工作，形成标准翻译稿。同时，深入高等院校和MEMS生产企业，

对标准的使用情况进行调研分析。

起草阶段：

1

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2024年9月29日，标准计划下达后，标委会于2024年10月23日通过发文的形

式向全社会广泛征集标准起草组成员。经过征集和初步遴选，标委会成立了《微

机电系统（MEMS）技术压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法》标准起草工作

组。

2024年12月26日，起草组在合肥召开了《微机电系统（MEMS）技术压电微

悬臂梁机电转换特性的测试方法》国家标准启动会暨工作组第一次会议，工作组

由湖北美的电冰箱有限公司担任主要起草工作，来自湖北美的电冰箱有限公司、

中机生产力促进中心有限公司、北京大学、东南大学、中国电力科学院有限公司、

中北大学、无锡华润上华科技有限公司、海信家电集团有限公司、无锡小天鹅电

器有限公司、宁波科联电子有限公司、广州自平测控科技有限公司、成都航天凯

特机电科技有限公司、长虹美菱股份有限公司、四川虹微技术有限公司、西北工

业大学、苏州大学、北京智芯微电子科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、上

海工研院、广州天极电子科技股份有限公司、无锡物联网创新中心有限公司的20

余名专家出席了会议。会上，标委会秘书处向与会专家介绍了标准的立项背景，

并结合会议就标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、MEMS压电薄膜测试平

台、测量方法、测试报告进行了逐条讨论，并按章节给起草组单位进行了任务分

工。

2025年3月20日起草组在宁波召开了《微机电系统（MEMS）技术压电微悬臂

梁机电转换特性的测试方法》国家标准起草工作组第二次会议，会议就第一次会

议遗留待确认的问题及起草组单位分配的任务完成情况进行了逐条讨论和认真

修改。

2025529MEMS

年月日起草组在合肥召开了《微机电系统（）技术压电

微悬臂梁机电转换特性的测试方法》国家标准起草工作组第三次会议，会议就第

2

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二次会议待确认的问题进行了逐条讨论和认真修改。

2025731MEMS

年月日起草组在太原召开了《微机电系统（）技术压电

微悬臂梁机电转换特性的测试方法》国家标准起草工作组第四次会议，就标准验

证时出现的细节问题，以及工作组成员对标准的处理意