频率式和数字式传感器.pptVIP

5.5光栅传感器5.5.1光栅的类型与结构实际应用的光栅有透射光栅和反射光栅，按其工作原理可分为黑白光栅（幅射光栅）和相位光栅（炫耀光栅）；按其用途可分为直线光栅和圆光栅。如图5-8所示，黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀地刻上许多明暗相间，宽度相同的透光线，称为栅线。设栅线宽为a，线间缝宽为b，a+b=W称为光栅节距(栅距)。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9；目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250线。使用时，长光栅装在运动部件上，称为标尺光栅;短光栅装在固定部件上，称为指示光栅。第29页，共56页，星期日，2025年，2月5日图5-8黑白透射光栅示意图（a）标尺光栅；（b）指示光栅第30页，共56页，星期日，2025年，2月5日5.5.2莫尔条纹的形成原理与特点1.莫尔条纹的形成原理按照光学原理，对于栅距远大于光波长的粗光栅，可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成。如图5-9所示，当两个有相同栅距的光栅合在一起，其栅线之间倾斜一个很小的夹角θ，于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹。例如在h-h线上，两个光栅的栅线彼此重合，从缝隙中通过光的一半，透光面积最大，形成条纹的亮带；在g-g线上，两光栅的栅线彼此错开，形成条纹的暗带；当a=b=W/2时，g-g线上是全黑的。第31页，共56页，星期日，2025年，2月5日图5-9莫尔条纹原理（a）莫尔条纹的形成；（b）莫尔条纹的宽度第32页，共56页，星期日，2025年，2月5日2.莫尔条纹的宽度横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角θ之间的关系，可由图5-9（b）求出（当θ角很小时）：（5-5）第33页，共56页，星期日，2025年，2月5日3.莫尔条纹的特点式（5-5）说明莫尔条纹具有以下特点：（1）对位移的光学放大作用：即把极细微的栅线放大为很宽的条纹，便于测试。例如θ=10′，则，若W=0.01mm,则B=3.34mm。（2）连续变倍的作用：其放大倍数可通过使θ角连续变化，从而获得任意粗细的莫尔条纹。第34页，共56页，星期日，2025年，2月5日（3）对光栅刻线的误差均衡作用：光栅的刻线误差是不可避免的。由于莫尔条纹是由大量栅线共同组成的，光电元件感受的光通量是其视场覆盖的所有光栅光通量的总和，具有对光栅的刻线误差的平均效应，从而能消除短周期的误差。例如对50线/mm的光栅（W=0.02mm），用5mm×5mm的光电池接收，光电池视场内覆盖250条栅线。若每条刻线误差为δ0=±0.001mm，则平均误差。第35页，共56页，星期日，2025年，2月5日4.莫尔条纹的移动方向当主光栅沿栅线垂直方向移动时，莫尔条纹沿着夹角θ平分线（近似平行于栅线）方向移动。莫尔条纹移动时的方向和光栅夹角的关系见表5-1。第36页，共56页，星期日，2025年，2月5日表5-1莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系第37页，共56页，星期日，2025年，2月5日5.莫尔条纹测量位移的原理光栅每移过一个栅距W，莫尔条纹就移过一个间距B。通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。由于光栅的遮光作用，透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化，变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加。固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出，可以用光栅位移量x的正弦函数表示，如图5-10所示。只要测量波形变化的周期数N（等于莫尔条纹移动数）就可知道光栅的位移量x，其数学表达式为x=N·W第38页，共56页，星期日，2025年，2月5日图5-10光电元件输出与光栅位移的关系第39页，共56页，星期日，2025年，2月5日5.6容栅传感器5.6.1容栅传感器的结构及工作原理根据结构形式，容栅传感器可分为三类，即直线型容栅传感器、圆型容栅传感器和圆筒型容栅传感器。其中，直线型和圆筒型容栅传感器用于直线位移的测量，圆型容栅传感器用于角位移的测量，图5-11为直线型容栅传感器的结构简图。第40页，共56页，星期日，2025年，2月5日第5章用Windows2000组建和配置B/S网络第5章频率式和数字式传感器第1页，共56页，星期日，2025年，2月5日5.1振弦式频率传感器5.1.1振弦式频率传感器的结构原理振弦式传感器是以被拉紧了的细弦作为