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MEMS热控百叶窗：结构设计、仿真分析与实验验证

一、引言

1.1研究背景与意义

随着航天技术的飞速发展，微小型航天器因其具有研制成本低、周期短、发射灵活等诸多优势，在空间科学探测、地球观测、通信等众多领域得到了日益广泛的应用。然而，微小型航天器的体积和重量受到严格限制，这就对其热控系统提出了极高的要求。

在太空环境中，航天器面临着极为复杂和恶劣的热环境。一方面，太阳辐射强度极高，当航天器直接面向太阳时，其表面温度可能迅速升高至数百摄氏度；另一方面，在阴影区域，航天器又会处于极寒状态，温度可降至零下一百多摄氏度。如此巨大的温差变化，对航天器内部的电子设备、仪器仪表等构成了严重威胁，极易导致设备性能下降甚至损坏，进而影响整个航天任务的顺利实施。

传统的热控设计，如以被动热控为主、主动电加热热控为辅的方式，已难以满足微小型航天器的需求。这是因为传统热控方式存在诸多弊端，例如电功率需求过大，这对于能源供应有限的微小型航天器而言是一个沉重的负担；对航天器姿态和工作模式要求苛刻，限制了航天器的灵活性和适应性；主动调节能力不足，无法及时有效地应对复杂多变的热环境。

可变发射率热控器件技术作为国际微小型航天器热控研究领域的热点之一，为解决上述问题提供了新的途径。其中，MEMS热控百叶窗以其独特的优势脱颖而出，具有质量轻、耗能少、加工工艺易与IC工艺相结合等特点。这些优势使得MEMS热控百叶窗能够在节省功率、减轻重量方面发挥重要作用，非常适合对功率和重量要求极为苛刻的微小型航天器，对于提高航天器的自主管理能力和可靠性具有重要意义，也为微小型航天器的发展开辟了更广阔的空间。

1.2MEMS热控百叶窗研究现状

国外对MEMS热控百叶窗的研究起步较早，取得了较为丰硕的成果。美国的Hopkins大学应用物理实验室对MEMS热控百叶窗的研究较为深入，不仅详细阐述了MEMS百叶窗热控装置的系统构成，还对其工作过程进行了全面分析。在结构设计方面，R.Oslander等人提出了平动型、转动型和折叠型三种不同形状的百叶窗方案，为后续的研究提供了重要的参考。在驱动方式上，静电驱动由于其具有结构简单、响应速度快等优点，成为目前应用较为广泛的驱动方式。此外，国外还在不断探索新的驱动原理和材料，以进一步提高MEMS热控百叶窗的性能。

国内在MEMS热控百叶窗领域的研究也取得了一定的进展。一些科研机构和高校对MEMS热控百叶窗的结构设计、驱动方式、仿真分析及实验研究等方面展开了深入研究。例如，通过对不同结构的力学性能进行分析，优化了百叶窗的结构设计，提高了其位移输出和稳定性；在驱动方式上，除了静电驱动外，还对电热驱动、电磁驱动等方式进行了研究，探索其在MEMS热控百叶窗中的应用潜力。

然而，当前的研究仍存在一些不足之处。在结构设计方面，如何进一步提高百叶窗的可靠性和稳定性，使其能够适应更复杂的太空环境，仍是需要深入研究的问题。在驱动方式上，虽然已经取得了一定的成果，但各种驱动方式都存在一定的局限性，如静电驱动的驱动力较小，电热驱动的能耗较高等，需要寻找更加高效、可靠的驱动方式。在仿真分析和实验研究方面，虽然已经建立了一些模型和方法，但还需要进一步完善，以提高研究的准确性和可靠性。未来，MEMS热控百叶窗的研究将朝着结构优化、驱动方式创新、性能提升以及与其他热控技术集成应用的方向发展。

1.3研究内容与方法

本文围绕MEMS热控百叶窗展开了多方面的研究，旨在设计出性能优良的MEMS热控百叶窗，并通过仿真和实验对其性能进行验证和分析。

在结构设计方面，提出了MEMS百叶窗力学模型，对平行板式和梳齿式两种驱动结构进行了深入比较，推导输出位移公式并进行精确计算，根据计算结果确定更适合作为百叶窗驱动结构的类型。设计初步的MEMS百叶窗结构，并对折叠梁结构形式和当量发射率进行细致分析，以优化百叶窗的性能。

借助专业的ANSYS软件进行静态分析和模态分析仿真。在静态分析中，以获得较大位移和合适的应力为目标，对百叶窗结构进行仿真，深入研究结构参数对位移和应力的影响规律。在模态分析中，得到百叶窗的各阶模态振型和固有频率，为百叶窗的动力学性能评估提供重要依据。

此外，还设计了体硅加工工艺流程并制作MEMS百叶窗，通过实际加工验证设计的合理性和可行性。对制作完成的百叶窗进行封装测试，获取百叶窗器件的谐振频率、电压位移对应关系等各种器件参数和性能，通过实验数据验证仿真结果的准确性，为MEMS热控百叶窗的进一步优化和应用提供坚实的基础。

本文采用了理论分析、软件仿真和实验测试相结合的研究方法。通过理论分析，建立MEMS百叶窗的力学模型，推导相关公式，为结构设计和性能分析提供理论基础。利用ANSYS等软