微纳集成电路制造工艺 课件 第1章绪论.pptx

微纳集成电路制造工艺Micro-nanoscaleIntegratedCircuitFabricationProcess“集”“微”成著·用“芯”圆梦

1959年开设课程初创1970-1980年创建完整的半导体工艺生产线，至今仍用于工艺实践教学工艺实习线2015年西电学堂《现代集成电路制造技术》在线课程上线线上教学2022年在中国大学MOOC网和eMOOC联盟均完成课程建设并开课MOOC/eMOOC研制我国第一根锗单晶（1959）开创了本课程理论联系实践的教学特色。微纳集成电路制造工艺：-微电子科学与工程（教改班）专业核心课必修，2.5学分，混合式教学（线下24学时，线上8学时，实践1