1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 产品手册

MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱用户手册.pdf

MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱用户手册.pdf

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-1

    1仪器功能

    MOScleanbench1，位于净化室内的刻蚀区，主要用于湿法清洗，该通风橱配有

    Piranha加热清洗槽、HF清洗槽和QDR（快排冲洗）。

    2样品材料要求

    通风橱配备有6寸和4寸花篮，分别可放置6寸和4寸硅片；小样品可以使用小

    花篮。

    本区域内允许使用的化学品为：HSO,HO,HF

    2422

    3设备培训和参

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    R的文档库 + 关注
    实名认证
    内容提供者

    相近型号说明书可通用，具体看说明书包括型号

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：7060103150000024

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >