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功能性薄膜材料在氨气传感应用中的性能探究

目录

功能性薄膜材料在氨气传感应用中的性能探究（1）．．．．．．．．．．．．．．3

一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的与内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

二、功能性薄膜材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.1功能性薄膜材料的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2功能性薄膜材料的特性与应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.3功能性薄膜材料的制备方法与性能调控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

三、氨气传感原理及应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.1氨气传感的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.2氨气传感的应用领域与重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.3氨气传感的性能评价指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

四、功能性薄膜材料在氨气传感中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

4.1薄膜材料的选用原则与筛选方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

4.2功能性薄膜材料在氨气传感中的性能表现．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

4.3影响因素分析与优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

五、实验设计与结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

5.1实验材料与设备选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

5.2实验方案设计及实施步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

5.3实验结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

六、结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

6.1研究结论总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

6.2研究不足之处与改进方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

6.3未来发展趋势与应用前景展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

功能性薄膜材料在氨气传感应用中的性能探究（2）．．．．．．．．．．．．．68

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69

1.2氨气传感技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71

1.3功能性薄膜材料研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74

1.4本研究的主要目的与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76

实验部分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77

2.1实验材料与试剂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79

2.2功能性薄膜制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80

2.2.1材料前驱体准备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．82

2.2.2薄膜沉积参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．84

2.2.3薄膜结构表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．89

2.3氨气传感器制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．91

2.4性能测试与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．95

2.4.1物理性能检测