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2024年第53卷第4期热加工工艺ISSN1001-3814
Vol.53No.42024HotWorkingTechnologyCN61-1133/TG
引用格式：李晓伟，安胜利，韩沛，等.304不锈钢钝化膜的X射线光电子能谱刻蚀研究[J].热加工,2024,53(4):42-45.
DOl:10.14158/ki.1001-3814
riggy@
riggy@
304不锈钢钝化膜的X射线光电子能谱刻蚀研究
李晓伟，安胜利，韩沛，范秀风
（内蒙古科技大学分析测试中心，内蒙古包头014010)
摘要：通过X射线衍射仪测试了304不锈钢表面钝化膜物相组成物。通过X射线光电子能谱仪中单原子氩离子
和团簇离子枪采用不同的电压及不同时间对304不锈钢表面进行刻蚀；分析了电压及时间对304不锈钢表面元素化合
态影响。采用深度剖析法检测了钝化膜垂直于样品表面纵深元素分布。结果表明：不锈钢钝化膜外层为铁氧化物，内层
为铬氧化物，钝化膜厚度约为120nm。
关键词：X射线光电子能谱；单粒子氩离子及团簇离子枪；钝化膜；深度剖析
中图分类号：TG178.1文献标识码：A
StudyonX-rayPhotoelectronSpectrumEtching
of304StainlessSteelPassivationFilm
LIXiaowei,ANShengli,HANPei,FANXiufeng
(AnalyticalandTestingCenter,InnerMongoliaUniversityofScienceandTechnology,Baotou014010,China)
Abstract:Thecompositionofpassivatedfilmphaseonthesurfaceof304stainlesssteelwastestedbyX-raydiffraction,
andtheMonatomicandGasClusterIonSourceintheX-rayphotoelectronspectroscopywereetchedonthesurfaceof304
stainlesssteelatdifferentvoltagesanddifferenttimes.Theinfluenceofvoltageandtimeonthesurfaceelementcombination
stateof304stainlesssteelwasanalyzed.Atthesametime,thedepthanalysismethodwasusedtodetecttheelement
distributionperpendiculartothedepthofthepassivationfilmonthesurfaceofthesample.Theresultsshowthattheouter
layerofthepassivationfilmisironoxideandtheinnerlayerischromiumoxide.Thethicknessofthepassivationfil
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