涂胶显影设备产业百科（附行业领先企业分析、发展机遇及未来前景预测）智研咨询发布.pdfVIP

涂胶显影设备

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智研产业百科·产业研究第一站/涂胶显影设备/

涂胶显影设备

一、定义及分类1

二、行业政策2

1、主管部门及监管体制2

2、相关政策2

（1）国家层面相关政策2

（2）地方层面相关政策3

三、行业壁垒5

四、产业链6

1、行业产业链分析6

2、行业领先企业分析7

五、行业现状8

六、发展因素9

1、有利因素9

2、不利因素10

七、竞争格局11

八、发展趋势12

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一、定义及分类

涂胶显影设备（Track）是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、显影及烘烤设备，包括涂胶机

（又称涂布机、匀胶机）、喷胶机（适用于不规则表面晶圆的光刻胶涂覆）和显影机。按设备类型可

以分为涂胶机、喷胶机、显影机；按应用环节可以分为前道设备、后道设备；按技术节点可以分为KrF

及以下节点类、ArF类、其他先进节点类。

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二、行业政策

1、主管部门及监管体制

涂胶显影设备行业的政府主管部门为工信部和科技部，行业自律性组织为中国半导体行业协会和

中国电子专用设备工业协会。工信部、科技部和行业协会构成了半导体设备行业的管理体系，各企业

在主管部门产业宏观调控、行业协会自律规范的约束下，面向市场自主经营，自主承担市场风险。

2、相关政策

（1）国家层面相关政策

为推动半导体及相关产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，带动传统产业改造和产品升级

换代，进一步促进国民经济持续、快速、健康发展，我国政府先后出台《电子信息制造业2023—2024

年稳增长行动方案》《关于推动技能强企工作的指导意见》等鼓励和支持半导体设备产业发展的政策，

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为我国涂胶显影设备行业发展营造了良好的政策环境。

国家层面涂胶显影设备行业相关政策

（2）地方层面相关政策

为了响应国家号召，各省市积极推动涂胶显影等半导体设备行业的发展，如2024年2月陕西省

发布的《关于支持企业开拓国际市场的实施意见》提出加强对半导体产业龙头企业跟踪帮扶，实施好

太阳能光伏产业国家外经贸提质增效示范项目，支持出口支柱产业企稳回升。

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三、行业壁垒

涂胶显影是半导体器件生产过程中不可或缺的一项关键工艺，是半导体产业链的上游核心环节。

作为半导体制造（前道）和先进封装（后道）的核心设备之一，光刻涂胶显影机涉及电子、机械、化

工、材料、信息等学科领域，属于典型的高、精、尖高端装备，行业具有较高的技术壁垒、资金壁垒

和客户壁垒，在一定程度上限制了新企业进入该市场。

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四、产业链

1、行业产业链分析

涂胶显影设备行业是半导体产业链中的一个重要环节，其上下游产业的发展状况对涂胶显影设备

行业具有重要影响。涂胶显影设备行业产业