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新型光子晶体材料制备工艺与性能分析
目录
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
光子晶体材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1光子晶体的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.1.1光子晶体定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.1.2光子晶体特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
2.2光子晶体的分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
2.2.1一维光子晶体．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.2.2二维光子晶体．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.2.3三维光子晶体．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.3光子晶体的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
新型光子晶体材料的结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
3.1材料结构参数的选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.1.1透镜结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.1.2点阵结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.2材料参数的优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
3.2.1材料折射率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.2.2材料周期．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
新型光子晶体材料的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
4.1溅射沉积法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
4.1.1基底选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
4.1.2沉积参数控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
4.2光刻腐蚀法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.2.1光刻胶选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
4.2.2腐蚀工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
4.3自组装法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
4.3.1分子自组装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
4.3.2纳米粒子自组装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
4.4喷涂法制备光子晶体材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68
4.4.1热喷涂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
4.4.2物理气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
新型光子晶体材料的性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
5.1微观结构表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78
5.1.1扫描电子显微镜分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
5.1.2透射电子显微镜分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83
5.2光学性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．
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