碳纳米管互连线串扰问题的深度剖析与解决方案探究.docx

碳纳米管互连线串扰问题的深度剖析与解决方案探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，集成电路（IntegratedCircuit，IC）作为现代电子设备的核心，其性能的提升对于推动信息技术的发展至关重要。随着半导体工艺技术的不断进步，集成电路的特征尺寸持续缩小，器件的集成度呈指数级增长。从早期的小规模集成电路到如今的超大规模集成电路，芯片上能够容纳的晶体管数量越来越多，这使得电子设备在功能不断增强的同时，体积和功耗却不断降低。

在集成电路中，互连线扮演着连接各个芯片和器件的关键角色，其性能直接影响着整个电路的运行效率和可靠性。随着电子器件尺寸缩小至深亚微米甚至纳米尺度，互连线