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2025至2030中国电子特种气体纯化工艺与半导体厂商认证标准研究报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化工艺与半导体厂商认证标准研究报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体纯化工艺发展现状 3

    1、电子特种气体纯化技术演进历程 3

    传统纯化工艺技术路线分析 3

    高纯度气体纯化技术突破与应用现状 5

    2、国内主要纯化工艺企业技术能力评估 6

    代表性企业纯化工艺水平与产能布局 6

    与国际先进水平的差距与追赶路径 7

    二、半导体厂商对电子特种气体的认证标准体系 9

    1、国际主流半导体厂商认证流程与要求 9

    标准与客户定制化认证指标解析 9

    认证周期、测试项目及合格率统计

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