金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法及编制说明.pdf

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《金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》国家标准编制说明

(征求意见稿)

一、工作简况,包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等。

1、制定背景

金属涂层的厚度是评价涂层性能的重要指标之一,正确使用检测仪器和方法对金属涂层的厚度

进行检测是金属涂层研究和质量评估的重要组成内容。由于扫描电子显微镜有较高的分辨率和精确

度,利用扫描电子显微镜检测金属涂层横截面的方式测量表征涂层厚度,已经成为广泛采用的测量

金属涂层厚度方法。目前,美国材料与试验协会(ASTM)的标准方法(S

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