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安徽省真空计量站建设的实践与宽量真空计研制的创新探索
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今科技与工业飞速发展的时代,真空技术作为一项关键基础技术,广泛应用于众多领域,如半导体制造、航空航天、材料科学、高能物理研究等。在半导体制造中,高精度的真空环境是确保芯片制造工艺精度和产品质量的关键,微小的气体杂质都可能导致芯片性能下降甚至报废。航空航天领域,航天器在高真空的宇宙环境中运行,对真空测量和控制的准确性要求极高,直接关系到航天器的安全与任务成败。材料科学研究中,真空环境有助于制备高纯度、高性能的材料,探索材料在极端条件下的特性。高能物理实验则依赖超高真空环境来实现粒子的加速和对撞,以揭示
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