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绿色无机合成第1页，共11页，星期日，2025年，2月5日绿色合成及CVD绿色化学的理想在于不再使用有毒有害物质，不再产生废物，不再处理废物，是一门从源头上阻止污染的化学化学气相沉积法（CVD）是将含有组成材料的一种或几种化合物气体导入反应室，通过化学反应形成所需要的材料的方法。第2页，共11页，星期日，2025年，2月5日绿色化学12条原则

原子经济性：合成方法应具有“原子经济性”，即尽量使参加反应的原子都进入最终产物。绿色化学合成：在合成中尽量不使用和不产生对人类健康和环境有毒、有害的物质。设计安全化学品：设计具有高使用功效和低环境毒性的化学品。采用安全的溶剂和助剂：尽量不使用溶剂等辅助物质，必须使用时应选用无毒、无害的。合理使用和节省能源：生产过程应该在温和的温度和压力下进行，而且能耗应最低。第3页，共11页，星期日，2025年，2月5日绿色化学12条原则利用可再生资源合成化学品：尽量采用可再生的原料，特别是用生物质代替矿物燃料。减少不必要的衍生化步骤：尽量减少副产品。采用高选择性的催化剂。设计可降解化学品：化学品在使用完后应能够降解成无毒、无害的物质，并且能进入自然生态循环。进行预防污染的现场实时分析：开发实时分析技术，以便监控有毒、有害物质的生成。使用安全工艺：选择合适的参加化学过程的物质及生产工艺，尽量减少发生意外事故的风险。第4页，共11页，星期日，2025年，2月5日化学气相沉积法的原理CVD的化学反应主要有两种：一种是通过各种初始气体之间的反应来产生沉积；另一种是通过气相的一个组分与基体表面之间的反应来沉积。最典型的是浓度边界层模型（见图1），它比较简单地说明了CVD工艺中的主要现象———成核和生长的过程。图1浓度边界层模型示意图ａ．反应气体被强制导入系统；ｂ．反应气体由扩散和整体流动穿过边界层；ｃ．气体在基体表面的吸附；ｄ．吸附物之间或者吸附物与气态物质之间的化学反应；ｅ．吸附物从基体解吸；ｆ．生成气体从边界层到气流主体的扩散和流动；ｇ．气体从系统中强制排出第5页，共11页，星期日，2025年，2月5日Xiang等[1]用作为磷源，首次展示了用CVD法合成高质量的p型掺杂ZnO纳米阵列薄膜，见图2。这种p型ZnO阵列垂直生长在蓝宝石衬底上，石墨粉被用来将还原为单质P蒸汽，也可以将原料ZnO还原为Zn蒸汽，反应如下：产物气液中将含有和，同时由于的高蒸汽压，气态的也会随气流向蓝宝石衬底输送，因此和均能作为掺杂元素P的来源。这种p型ZnO纳米线可以作为基体来制造居里温度高于室温的一维稀磁性半导体（DMS)纳米结构。CVD法合成p型掺杂ZnO纳米线实例一第6页，共11页，星期日，2025年，2月5日图2蓝宝石衬底生长的p型ZnO纳米线阵列第7页，共11页，星期日，2025年，2月5日CVD法合成p型掺杂ZnO纳米线实例二Liu等用金属锌粉、石墨粉、NaCl作为原料，通过CVD途径首次合成了Na掺杂的单晶p型ZnO纳米线。三种固态粉末混合以后置于氧化铝坩埚中，用200目的铁筛盖上。在石英管中加热到950℃并同时通入夹带水蒸气的Ar气流。经过1h的生长，在Ar气的保护下冷却到室温，就可以在铁筛下表面得到高质量的p型ZnO纳米线。PL谱显示受体束缚激子发射峰在3.35eV,载子迁移率为2.1第8页，共11页，星期日，2025年，2月5日