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半导体气体传感器设计及其测试系统的整合

目录

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1半导体气体传感器在环境监测中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2本文的主要内容与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

半导体气体传感器原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1半导体材料的性质与选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2气体吸附与脱附过程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3传感器响应特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

半导体气体传感器类型与设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.1金属氧化物半导体传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1.1MOS传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1.2MOS传感器的结构与类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.2电化学传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.2.1电化学传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.2.2电化学传感器的类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.3纳米材料气体传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.3.1纳米材料的气体吸附能力．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.3.2纳米材料传感器在气体检测中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

半导体气体传感器测试系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

4.1测试系统概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

4.1.1系统组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

4.1.2系统要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

4.2采样系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

4.2.1采样原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

4.2.2采样器的选择与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

4.3信号处理系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

4.3.1信号放大与过滤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

4.3.2信号转换与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

4.4数据采集与分析系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

4.4.1数据采集方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

4.4.2数据分析与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

半导体气体传感器测试系统实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66

5.1试验平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

5.1.1试验平台的硬件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70

5.1.2试验平台的软件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75

5.2传感器性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80

5.3数据验证与评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．82

5.3.1数据分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85

5.3.2结果评价与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．88

1.内容简