T_ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟.docxVIP

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团体标准

T/ZJCX0043—2024

等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟Graphiteboatforplasmaenhancedchemicalvapordepositionequipment

2024-07-23发布2024-07-24实施

浙江省企业技术创新协会发布

T/ZJCX0043—2024

目次

前言 I

1 1范围

2 1规范性引用文件

3术语和定义 1

4产品结构与分类 2

5 2技术要求

6 5试验方法

7检验规则 6

8包装、标志、运输、贮存 8

9其他 9

T/ZJCX0043—2024

I

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由浙江省企业技术创新协会提出并归口。

本文件主要起草单位：浙江华熔科技有限公司。

本文件参与起草单位：合肥大恒智慧能源科技有限公司、赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司、润马光能科技（金华）有限公司、平顶山东方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江华照半导体材料有限公司、山西博翔汇良新材料有限公司、平顶山市博翔碳素有限公司、苏州兆恩精密仪器有限公司、宜兴市希羽陶瓷有限公司、浙江亿值旺新材料科技有限公司。

本文件主要起草人：周志强、陆斌、王军、李祥、鲍宪钧、张力、何亮、蔡帅、李志恒、马二克、胡平安、林龙玉、魏延召、赵世梁、姜昌星、翟民、赵俊通、樊少璞、任帅许、翟茜、宋晓珂、张阳、卢彬、殷静。

T/ZJCX0043—2024

1

等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

1范围

本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1429炭素材料灰分含量的测定方法

GB/T3074.4石墨电极热膨胀系数（CTE）测定方法

GB/T3520石墨细度试验方法

GB/T13465.2石墨材料抗弯强度试验方法

GB/T24525碳素电阻率测定方法

GB/T24528炭素材料体积密度测定方法

JB/T8133.4电炭制品物理化学性能试验方法第4部分肖氏硬度

YB/T4379等静压石墨

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

石墨舟graphiteboat

本文件所指石墨舟，是以等静压石墨为原料，经切片、磨削、涂层、CNC雕刻等工艺制作而成的光伏用管式PECVD设备镀膜用工装载具。

2

T/ZJCX0043—2024

3.2

表面粗糙度surfaceroughness

本文件所指表面粗糙度，指加工后的零件表面上具有的较小间距和微小峰谷的不平度，通常以μm为单位。

3.3

抗折强度flexuralstrength

本文件所指抗折强度，指石墨在弯曲过程中所能承受的最大弯曲应力，通常以MPa为单位。

3.4

石墨粒度granularity

本文件所指的石墨粒度，指石墨中心颗粒的粒径大小，即中心颗粒的直径，通常以μm为单位。

4结构与分类

4.1结构

石墨舟整舟主要由舟片、舟脚、电极块、石墨隔块、舟片连接块、石墨螺母等组成。

4.2分类

依据硅片型号分类，石墨舟分为125×125mm、156×156mm、158.75×158.75mm、166×166mm、182×182mm、210×