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T∕CASAS 060-2025 用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片.pdf

T∕CASAS 060-2025 用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片.pdf

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    ICS29.045

    CCSH83

    团体标准

    T/CASAS060—2025

    用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

    GaNonSiepitaxialwafersforHEMTpowerdevices

    2025-08-29发布

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