第七节大尺寸测量.pptVIP

四、无导轨测量（一）概述1．激光干涉仪测量过程中的问题:增量式、不能间断、需要导轨这限制应用场合迫切需要无导轨绝对距离测量2．历史无导轨测量的研究历史应该追溯到迈克尔逊时代，在1892年把国际标准米尺与Cd红线波长相比较，提出了小数重合法；在激光出现之后，激光光谱学的研究结果向人们展示了极为丰富的谱线系列和令人振奋的相干特性。1976年C.R.Tilford和A.G.Orszag首先报导了使用CO2激光器进行多波长干涉测长，而不必求助于其他初测手段，成为严格意义上的激光多波长无导轨测量的开端。第30页，共64页，星期日，2025年，2月5日（3）1977年C.R.Tilford对于由条纹尾数确定长度的分析法进行了系统的理论分析，并且提供了合成波长的概念，对激光多波长干涉测量起了重要的推动作用。2．无导轨测量的优点：与有导轨测量比省导轨，快速，避免累加计数过程中的误差、错误等；推动测量机器人的发展；3.无导轨测量的测量方法：多波长测量半导体激光线性绝对距离的干涉测量激光测距第31页，共64页，星期日，2025年，2月5日（二）多波长测量的原理（绝对距离干涉测量方法）1．小数重合法：采用小数重合法的典型仪器是Kosters干涉仪，如图2-53（a）所示。图2-53Kosters干涉仪棱镜5是色散棱镜，通过转动棱镜可使光源1的不同谱线被选用以实现波长转换。8，9，10，12构成Michelson干涉仪，11为被测量块，通过目镜可以观察到干涉场上的条纹[见图2-53（b）]。第32页，共64页，星期日，2025年，2月5日（i=1，2，3对应三波长）式中：mi为干涉级整数部分,εi（i=1,2,3）为干涉级的小数部分假设测量结果为:ε1=0.1，ε2＝0.0，ε3=0.5量块名义尺寸：10mm的，初测误差为±0.001mm,光源：氦灯三条谱线为:红λ1=667.8186nm，黄λ2=587.5652nm，绿λ3=501.5704nm，根据干涉仪的原理第33页，共64页，星期日，2025年，2月5日红光667.8186nm黄光587.5652nm绿光501.5704nm长度（mm）29945.134035.239870.69.9989529946.134036.339871.99.9992829947.134037.539873.29.9996129948.134038.639874.69.9999429949.134039.739875.910.0002829950.134040.939877.210.0006229951.134042.039878.510.0009529952.134043.139879.910.00128只有10.00095mm所对应的条纹尾数和测量所得的干涉完全相符。可以确定该量块的长度为10.00095mm。因为块规的长度是在10.001和9.999之间，所以红线的干涉级应为29952.1和29945.1之间。各谱线的相应干涉级以及对应的长度列于下表。第34页，共64页，星期日，2025年，2月5日实际情况还要复杂些。例如空气折射率的修正和条纹尾数符号的判断。小数重合法虽然使用了多个波长，并没有使用合成波这个概念，在当时的技术条件下，还没有条件得到两条谱线之间的拍波。小数重合法对于初测提出了严格的要求。C.R.Tilford对于由条纹尾数确定长度的分析法进行了系统的理论分析，并且提供了合成波长的概念。第35页，共64页，星期日，2025年，2月5日2．合成波法合成波干涉测长实际上是利用两光波形成的拍波的波长为单位去度量被测长度。（1）无导轨绝对距离测量原理用光学干涉仪测量长度时干涉仪的干涉条纹与被测光程差之间的关系如下：L=(N+ε)λ/2其中：L为被测长度，N、ε分别为干涉条纹的整数级次和小数部分，它们都是正数，λ是光波波长。上式中，ε可以直接通过干涉仪精确测量出来，N可以有两种方法获得：一是利用条纹计数，单频和双频激光测量系统就是利用了条纹计数方法。