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集成电路在线工艺监控结构的设计分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u5442集成电路在线工艺监控结构的设计分析案例 1
196941.1 集成电路在线工艺监控结构简介 1
230121.1.1 测试键简介 1
251591.1.2 某功率器件的测试键结构 2
65911.2 测试参数介绍 2
97621.2.1 金属氧化物半导体场效应管的工作原理 2
149831.2.2 某功率器件晶圆允收测试的结构介绍及分析 3
1.1 集成电路在线工艺监控结构简介
1.1.1 测试键简介
划片道测试键管芯晶圆
划片道
测试键
管芯
晶
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