2025《集成电路在线工艺监控结构的设计分析案例》2400字.doc

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集成电路在线工艺监控结构的设计分析案例

目录

TOC\o1-3\h\u5442集成电路在线工艺监控结构的设计分析案例 1

196941.1 集成电路在线工艺监控结构简介 1

230121.1.1 测试键简介 1

251591.1.2 某功率器件的测试键结构 2

65911.2 测试参数介绍 2

97621.2.1 金属氧化物半导体场效应管的工作原理 2

149831.2.2 某功率器件晶圆允收测试的结构介绍及分析 3

1.1 集成电路在线工艺监控结构简介

1.1.1 测试键简介

划片道测试键管芯晶圆

划片道

测试键

管芯

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