DB63_T 2467-2025 多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范.docxVIP

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63

青海省地方标准

DB63/T2467—2025

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技

术规范

2025-09-24发布2025-11-01实施

青海省市场监督管理局发布

DB63/T2467—2025

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4装置损伤分布 2

5关键设备主要损伤及部位 4

6风险评估过程及要求 4

7基于风险的检验策略制定 5

8风险评估质量评定 6

附录A（资料性）多晶硅制造装置损伤分布流程图 7

附录B（资料性）多晶硅制造装置风险评估质量评定 11

DB63/T2467—2025

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国特种设备检测研究院提出。

本文件由青海省市场监督管理局归口。

本文件起草单位：中国特种设备检测研究院、华北科技学院、青海省特种设备检验检测院、青海中特检特种设备检测有限公司、内蒙古自治区特种设备检验研究院、北京化工大学、西安交通大学、宁波市特种设备检验研究院、江苏省特种设备安全监督检验研究院、榆林市特种设备检验检测院、青海丽豪半导体材料有限公司、武汉左晟检测技术有限公司、上海歌略软件科技有限公司。

本文件主要起草人：路笃辉、王目凯、丛广佩、李兵、侯令玮、童世合、刘大隆、李翔、杨硕、王伟华、张峰、李恒、冉祎、高东、徐业银、赵盈国、励凯宏、胡健、马殿国、杨白冰、宋策、赵梦曦、王强、丁彦龙、赵毅、李修能、奚春洪。

本文件由青海省市场监督管理局监督实施。

DB63/T2467—2025

1

多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范

1范围

本文件规定了多晶硅制造装置基于风险的评价与检验的术语和定义、装置损伤分布、关键设备主要损伤及部位、风险评估过程及要求、基于风险的检验策略制定、风险评估质量评定等内容。

本文件适用于多晶硅制造装置基于风险的评价与检验过程。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T

26610.1承压设备系统基于风险的检验实施导则

第1部分：基本要求和实施程序

GB/T

26610.2承压设备系统基于风险的检验实施导则

第2部分：基于风险的检验策略

GB/T

26610.4承压设备系统基于风险的检验实施导则

第4部分：失效可能性定量分析方法

GB/T

26610.5承压设备系统基于风险的检验实施导则

第5部分：失效后果定量分析方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

风险评估

风险识别、风险分析与风险评价的全过程。

[来源：GB/T26610.1-2022,3.19]

3.2

失效

系统、结构、设备或部件丧失规定的功能.

[来源：GB/T26610.1-2022,3.7]

3.3

基于风险的检验

一种重点针对材料损伤引起的设备失效的风险评估和管理风险过程。[来源：GB/T26610.1-2022,3.20]

3.4

损伤模式

DB63/T2467—2025

2

随着时间的推移,引起材料发生有害微观和(或)宏观变化的过程

[来源：GB/T26610.1-2022,3.5]

4装置损伤分布

4,1反应工段

4.1.1损伤模式分布

反应工段的损伤模式分布见图A.1。

4.1.2硅粉计量加料系统

硅粉计量加料系统损伤分布如下：

a)硅粉料仓至氢化反应器入口：大气腐蚀；

b)阀门：多相流冲蚀。

4.1.3反应系统

反应系统损伤分布如下：

a)反应器至反应产物/氢气热交换器入口：σ相脆化+475℃脆化+晶间腐蚀+再热裂纹+盐酸腐蚀（停产降温过程）+氯化物应力腐蚀开裂（停产降温过程）；

b)反应器至反应产物/氢气热交换器连接管道：多相流冲蚀；

c)反应产物/氢气热交换器至混合器：含固多相流冲蚀+盐酸腐蚀（停产降温过程）+氯化物应力腐蚀开裂（停产降温过程）。

4.1.4注氢系统

注氢系统损伤分布如下：

a)补氢缓冲罐、循环氢缓