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2025至2030中国电子特种气体国产化进程与晶圆厂认证情况分析报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体行业现状分析 3
1、行业发展阶段与整体格局 3
年前国产化率及主要瓶颈 3
产业链上下游协同现状与短板 5
2、晶圆厂对电子特种气体的核心需求特征 6
不同制程节点对气体纯度与稳定性的要求差异 6
主流晶圆厂采购模式与认证周期特点 7
二、国产化进程关键驱动因素与政策环境 9
1、国家及地方政策支持体系 9
十四五”及后续规划中对电子特气的战略定位 9
专项扶持资金、税收优惠与国产替代目录政策梳理
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