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半导体业危害鉴别及风险评估实务1.pdf

半导体业危害鉴别及风险评估实务1.pdf

    半导体业危害鉴别及风险评估实务半导体业危害鉴别及风险评估实务

    姚嘉文**********

    沈洲林冠佑张堂安

    摘要

    半导体厂由于制程特殊需求，必须使用各种化学品，其中不乏具有惰性、毒性、自/

    学品经由储存、搬运、换酸/换钢瓶、管路输送、制程反应、管末处理后，若因操作不

    当，即可能造成重大损失而产生立即性的危害。

    有鉴于此，国内各

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