2025《集成电路在线工艺监控结构设计》16000字（论文）.docx

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集成电路在线工艺监控结构设计

【摘要】由于集成电路在生产过程中无法直接对其进行测试，因此需要设计一种监控结构，以此在生产过程中对其制程好坏进行监控。

晶圆允收测试(WaferAcceptanceTest,WAT)是集成电路制程中的关键测试环节，晶圆允收测试本身并不参与制造集成电路，只在工艺流程执行后对电路内部的关键器件和结构进行直流电性测试，用来监控前段工艺是否符合标准。

对于晶圆允收测试来说，集成电路本身所要实现的具体功能并不重要，重要的是为了实现相应的功能，该电路在晶圆上集成了哪些元器件和结构，以及这些器件和结构按照设计要求需要满足什么样的直流电性参数。

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