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h2椭圆偏光法原理立项发展报告/h2

h3摘要/h3

p本报告系统阐述了椭圆偏光法的基本原理、技术特点及应用价值。作为一种高精度薄膜表征技术，椭圆偏光法通过分析偏振光与材料相互作用后的状态变化，可实现纳米级薄膜厚度和光学参数的精确测量。该技术具有测量精度高、灵敏度好、无损检测等突出优势，在半导体、光学、化学、生物医学等前沿领域展现出重要的应用价值。本报告详细分析了制定《椭圆偏光法原理》标准的技术必要性和实践意义，明确了标准适用范围和核心技术内容，为相关领域的科研创新和产业发展提供重要技术支撑。/p

h3要点列表/h3

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li椭圆偏光法是一种基于偏振光状态变化的高精度薄膜表征技术/li

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