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emmi失效分析的原理.pdf

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    emmiemmi失效分析的原理失效分析的原理

    失效分析对半导体行业至关重要，EMMI

    号转换为可见图像，直接显示失效点位置。

    EMMI

    置对应滤波器。

    统方法需逐层去封装排查，EMMI在通电状态下直接锁定漏电区域位于PMOSPMOS管栅极边缘，后续FIB

    切片验证栅氧存在针孔缺陷。实验室数据显示，EMMI将失效定位时间从48小时缩短至3小时。

    根据器件参数施加反向偏压或工作电压，电流控制在μA至mAmA级；开启冷却型CCD

    信号，积分时间通常为30-300

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