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耦合微悬臂阵列集体振动模的光学囚禁与冷却：原理、技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微机电系统（MEMS）技术的崛起为众多领域带来了前所未有的变革。其中，耦合微悬臂阵列作为MEMS领域的关键部件，凭借其独特的物理特性和卓越的性能，在传感、量子计算等诸多前沿领域展现出了巨大的应用潜力，成为了科研人员关注的焦点。

在传感领域，耦合微悬臂阵列展现出了极高的灵敏度和选择性。例如，在生物传感方面，通过在微悬臂表面修饰特定的生物识别分子，当目标生物分子与之结合时，会引起微悬臂的微小形变，利用这一特性，耦合微悬臂阵列能够实现对痕量生物分子的精准检测，为疾病早期