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单晶Al2O3/YAG共晶：制备工艺、微观组织与性能的关联性研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学领域，单晶Al2O3/YAG共晶凭借其独特的性能优势，逐渐成为研究热点，并在众多关键领域展现出重要的应用价值。氧化铝（Al2O3）具有高硬度、高熔点、良好的化学稳定性和绝缘性等特点，在结构材料和功能材料领域应用广泛。钇铝石榴石（YAG）则具有立方晶体结构、无双折射效应、高温蠕变小以及优异的光学和电学性能，被广泛应用于激光器基质材料、高温可见光窗口、等离子体腔室材料以及红外窗口材料等。当Al2O3与YAG形成共晶时，二者的优势得到互补，产生了一系列优异的综合性能。

在航空航天领域，随着航空发动机推重比的不断提高以及航天器对轻量化、高性能材料的迫切需求，能够在高温、复杂应力和极端环境下稳定工作的材料成为关键。单晶Al2O3/YAG共晶陶瓷的高温强度从室温到1800℃（接近其熔点）能始终保持在300-400MPa，并且在1700℃空气中热暴露1000h后几乎没有氧化增重和组织粗化，表现出优异的高温抗氧化性和组织热稳定性，使其有望用于发动机燃烧室浮壁及涡轮喷嘴叶片等部件，且无需涂层及空心气冷，这不仅能提高发动机的热效率和可靠性，还能减轻部件重量，提升航空航天器的整体性能。

在半导体领域，随着半导体器件不断向小型化、高性能化发展，对刻蚀机和PECVD设备等的性能要求也日益提高。等离子体在这些设备的工作过程中会对器件表面造成严重腐蚀，而单晶Al2O3/YAG共晶复合材料因其具有优异的耐等离子体刻蚀性能、高热导率以及良好的机械性能，成为制备刻蚀腔体和腔体内部件防护材料的理想选择，有助于提高设备的使用寿命和性能，降低生产成本，提高半导体器件的成品率。

此外，在高功率固态照明领域，由α-Al2O3相和YAG相三维相互贯穿形成的稀土掺杂共晶荧光体，因其两相良好的热导率和相近的折射率，兼具低散射、高导热等特点，有效避免了高功率下的热衰减问题，为解决目前主流荧光粉涂覆不均匀、高光衰等制约大功率固态照明技术发展的瓶颈问题提供了新途径，具有广阔的市场前景。

尽管单晶Al2O3/YAG共晶在上述领域展现出巨大的应用潜力，但目前对其制备工艺的研究仍存在一些不足，导致制备过程中存在诸如晶体缺陷难以控制、生产效率较低、成本较高等问题，限制了其大规模应用。在组织研究方面，虽然对其凝固组织形貌和晶体学取向有了一定认识，但对于在复杂制备条件下，特别是在一些新型制备技术中的组织演变规律和机制，仍有待深入探索。在性能研究方面，如何进一步优化其综合性能，如提高其在复杂环境下的长期稳定性和可靠性等，还需要更系统的研究。因此，深入研究单晶Al2O3/YAG共晶的制备、组织与性能，对于推动其在航空航天、半导体、高功率固态照明等领域的实际应用，解决相关技术瓶颈，具有重要的理论意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

国外对单晶Al2O3/YAG共晶的研究起步较早，在制备方法上，已对布里奇曼法、水平定向凝固（HDS）法、激光悬浮区熔法、薄膜进给生长（EFG）法、光学浮区法等多种技术进行了深入探索。通过这些方法，在一定程度上实现了Al2O3/YAG共晶的制备，并对工艺参数与晶体质量、组织形态之间的关系进行了研究。例如，利用激光悬浮区熔法，通过精确控制温度梯度和凝固速率，成功制备出了具有特定组织形态的Al2O3/YAG共晶材料，并对其凝固过程中的组织演变进行了细致观察和分析。在组织特征研究方面，借助先进的微观表征技术，如高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、电子背散射衍射（EBSD）等，深入研究了共晶组织的微观结构、相界面特征以及晶体学取向分布，揭示了共晶生长过程中两相的生长机制和相互作用规律。在性能研究上，对其高温力学性能、抗氧化性能、耐等离子体刻蚀性能等进行了系统测试和分析，建立了性能与组织结构之间的关联模型，为材料的性能优化提供了理论依据。

国内在单晶Al2O3/YAG共晶研究方面也取得了显著进展。西北工业大学的苏海军教授团队针对高熔点氧化物共晶陶瓷均质熔化/凝固技术不成熟、凝固缺陷与组织调控难等问题，发明了具有自主知识产权的复合陶瓷超高温度梯度定向凝固与激光增材制造技术及装备。通过该技术，实现了温度梯度达到10000K/cm的超高温度梯度定向凝固，成功制备出全致密、表面光洁、无裂纹的共晶陶瓷，并一步打印成形了国际文献报道的最长尺寸、高致密、高长径比兼具超细共晶组织的氧化物共晶陶瓷。同时，该团队还建立了小平面共晶液固界面曲率过冷模型，获得了共晶特征尺度与凝固参数的定量关系，实现了多元复相共晶陶瓷凝固组织的均细化调控，并基于籽晶诱导与动力学条件相结合，揭示了小平面共晶非规则-