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离子辐照下光学材料折射率调制及光波导结构构建：理论、实践与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，高性能光波导结构对于光信号的有效传输与处理起着举足轻重的作用。光波导作为集成光学中的关键元件，能够将光波限制在微米量级的微小结构内传输，实现高的光密度，其性能直接影响着集成光学系统的功能与效率。随着信息技术的飞速发展，对光波导性能提出了更高的要求，如更低的传输损耗、更高的折射率对比度以及更精确的光场限制能力等。

离子辐照技术作为一种重要的材料改性手段，在光学材料领域展现出独特的优势和巨大的潜力。它基于高能离子与物质相互作用的原理，通过将高速带电粒子（如离子）轰击材料表面，使材料内