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第卷第期杭州电子科技大学学报自然科学版
442Vol.44No.2
年月()
20243JournalofHanzhouDianziUniversitNaturalSciencesMar.2024
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DOI10.13954.cnki.hdu.2024.02.004
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锥面镜气囊抛光压力场与速度场建模仿真与分析
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贺钊豪樊炜海阔臧仲明
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所四川绵阳621900
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摘要锥面镜是激光仪器不可或缺的核心光学元件气囊抛光具有加工效率高贴合度好的优势
,,
被广泛应用于超精密加工工艺中然而当前气囊抛光工艺仅限于平面或低陡度曲面对于主曲率
、,。
差异巨大曲率畸变严重的锥面镜尚未建立其表面去除机制的物理模型由于锥面镜具有几何
,。
特异性难以直接通过现有的仪器获得压力场分布本文在切触点局部坐标系下采用有限元方法
,,、
计算压力场并计算了速度场分布分析了沿母线不同位置和下压量变化时压力场速度场和去除
,,,
率的变化规律实验证明相比传统建模方法本方法预测的去除函数与锥面实际去除函数轮廓误
,。
差降低了约12%显示本文建模方法得到的结果与实际符合度更高
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关键词锥面镜气囊抛光压力场速度场有限元方法
中图分类号:,文献标志码:文章编号:()
TN248.1TN241A1001-9146202402-0023-07
介绍
0
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锥面镜是激光仪器不可或缺的核心光学元件与非球面镜相比锥面镜会产生环形光束轮廓适用
、,
于激光玻璃切割激光蓝宝石切割等多种应用这些领域的应用需求对高精度光学元件的制造提出了巨
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初级会计持证人
专注于经营管理类文案的拟写、润色等，本人已有10余年相关工作经验，具有扎实的文案功底，尤善于各种框架类PPT文案，并收集有数百万份各层级、各领域规范类文件。欢迎大家咨询！
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