磁控溅射法制备氮掺杂二氧化锡薄膜及其性能的多维度探究.docx

磁控溅射法制备氮掺杂二氧化锡薄膜及其性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，透明导电氧化物（TCO）薄膜作为一类兼具高透光性和导电性的功能材料，在众多领域中发挥着至关重要的作用。常见的TCO薄膜体系包括氧化铟锡（ITO）、氧化锌铝（AZO）、氧化锡锑（ATO）等，其在可见光范围内的透光率通常超过80%，电阻率可低至10??Ω?cm量级，这主要归因于金属阳离子掺杂引入的自由载流子。这类薄膜广泛应用于平板显示器、触摸屏、太阳能电池、透明电极等领域，是光电产业的核心材料之一。

在众多TCO薄膜中，二氧化锡（SnO?）薄膜因其独特的物理和化学性质而备受