二氯二氢硅三氯氢硅有什么区别_三氯氢硅合成(硅氯化)工艺概况及常见问题.pdfVIP

二氯二氢硅三氯氢硅有什么区别_三氯氢硅合成（硅氯化）

工艺概况及常见问题

三氯氢硅合成（硅氯化）工艺概况及常见问题石磊（重庆工贸职业技

术学院生物化学工程系应用化工技术）[关键词]三氯氢硅工艺问题技术经

济[摘要]对600t/a三氯氢硅装置中硅氯化合成三氯氢硅粗品的技术

经济及生产中常见问题进行了分析。

三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体,也是制备多晶硅的主要原料,它

是一个产值和利润很高的产品。而生产三氯氢硅的主要原料是硅粉、氯气、

氢气,因此很适合在氯碱企业作为下游产品开发生产.目前由于国际金融危

机的影响，导致三氯氢硅价格持续走软。

一.工艺流程三氯氢硅氯化工艺流程包括：氯化氢合成三氯氢硅合

成等工序。

1.氯化氢合成由汽化氯气与净化后的氢气在氯化氢合成炉里合成氯化

氢气体。

2、三氯氢硅合成及操作规范氯化氢合成炉里合成的氯化氢气体，经

缓冲罐和酸雾捕集器再经石墨冷凝器冷却后，进入沸腾炉内与干燥后的硅

粉反应合成三氯氢硅。由于合成反应本身是放热的所以必须不断地将反应

热导出，以控制反应温度，使副产物四氯化硅控制在最低含量，生成的三

氯氢硅和四氯化硅气体经袋式过滤器除去粉尘及高氯硅烷，空冷后再用－

35℃盐水冷凝为液体，其中绝大部分氯硅烷冷凝为液体，所得的氯硅烷混

合物送至精馏装置进行分离，得到较高纯度的三氯氢硅和四氯化硅产品

H2和HCl等不凝气体，然后到分馏岗位提纯，将副产物及三氯氢硅进行

分离，得到产品三氯氢硅和副产物四氯化硅。

Si+3HCl→

SiHCl3+H2SiHCl3+HCl

→SiCl4+2H2氯气↓氢气→氯化氢合成炉→氯化氢缓冲罐→酸雾捕集

器→硅粉干燥器↓→三氯氢硅沸腾炉→过滤器→空冷器→﹣35℃盐水冷凝

器→班产量罐→分馏罐▲氯化合成岗位工艺流程示意图3.设备设备包括：

干燥氢气缓冲罐、氯气缓冲罐、氯化氢合成炉、氯化氢缓冲罐、酸雾捕集

器、硅粉干燥器、沸腾炉反应器、过滤器、空冷器、三氯氢硅计量槽、合

成尾气淋洗塔、氮气缓冲罐、排渣塔、水环真空泵、水力喷射泵、粗三氯

氢硅储槽、粗三氯氢硅中转槽。

4.进硅粉操作4.1进料前关闭沸腾炉降温水水阀，使沸腾炉炉温升至

400℃以上。

4.2调小氯化氢流量，最后关闭氯化氢进沸腾炉调节阀，停止反应。

4.3打开排渣塔喷淋水截止阀。

4.4关闭过...