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薄膜散射损耗的测量光学镀膜技术主讲人:颜劲仁
光学镀膜技术
与薄膜的吸收损耗一样,薄膜的散射损耗是影响薄膜光学性能提升的重要因素,薄膜的散射损耗会降低光学系统的反射率和透射率,被散射的杂散光在光学系统内还会降低光学系统的信噪比,影响光学系统的成像质量。薄膜散射损耗的测量入射光透射光被吸收被散射薄膜介质反射光
薄膜散射损耗的测量
由于薄膜表面粗糙引起的散射,如薄膜表面的划痕、气泡、裂纹、微尘、麻点、微小粒子以及薄膜表面的微观粗糙度等。薄膜散射损耗的测量表面散射损耗薄膜散射损耗主要来源于薄膜表面散射产生的损耗和薄膜内部的体散射损耗。
由于薄膜内部缺陷或杂质引起的散射,如薄膜内部折射率不均匀,薄膜内
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