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半导体晶圆自动搬运检测系统的设计与应用

目录

一、文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2国内外研究现状综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3系统设计目标与主要内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

二、系统总体方案规划．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2系统架构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3关键技术路线选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.4系统性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

三、硬件系统设计与实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.1机械结构模块设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.1.1搬运机构选型与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

3.1.2定位与夹持装置设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.1.3传动系统参数计算．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

3.2控制系统硬件配置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.2.1主控单元选型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

3.2.2传感器网络构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

3.2.3执行驱动电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

3.3检测模块硬件集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.3.1视觉检测子系统搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.3.2电学参数测试接口设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

3.3.3数据采集模块实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

四、软件系统设计与开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

4.1软件架构与功能模块划分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

4.2运动控制算法设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61

4.2.1路径规划与轨迹优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69

4.2.2伺服控制策略实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72

4.3图像处理与检测算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75

4.3.1图像采集与预处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77

4.3.2缺陷特征提取与识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78

4.3.3检测结果评估方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83

4.4人机交互界面开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．84

4.4.1操作流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85

4.4.2数据可视化与报表生成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．85

五、系统调试与性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．90

5.1实验平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．93

5.2分模块功能测试．．．．．．．．．．．．．