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小光斑扫描激光预处理系统：集成控制与工艺优化的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科研领域，光学元件的性能与可靠性至关重要。随着激光技术在高功率激光系统、惯性约束核聚变（ICF）、光学通信等诸多前沿领域的广泛应用，光学元件面临着更为严苛的激光辐照环境。激光损伤问题成为限制光学系统性能提升与稳定运行的关键瓶颈，严重影响着相关技术的发展与应用。例如，在高功率激光系统中，光学元件一旦发生激光损伤，可能导致整个系统的输出光束质量下降，甚至引发系统故障，造成巨大的经济损失和科研进度延误。

小光斑扫描激光预处理作为一种能够有效提高光学元件抗激光损伤能力的技术手段，近年来受到了广泛的关注