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SOI基PZT薄膜：结构解析与特性探究

一、引言

1.1研究背景与意义

压电材料作为一类能够实现机械能与电能相互转换的功能材料，在现代科技领域中扮演着举足轻重的角色。当对压电材料施加压力时，它会在两端面间出现电压，此为正压电效应；反之，在极化方向上施加电场，材料则会发生变形，即逆压电效应。这种独特的物理特性使得压电材料在智能传感、微机电系统（MEMS）、定位控制以及声学器件等诸多应用中得到了广泛的应用。例如，在传感器领域，压电材料可将机械量转换为电信号，用于测量压力、加速度、力等物理量，像地震传感器利用压电材料感知地壳的微小震动，从而实现对地震的监测与预警；在驱动器领域，基于逆压电效应，压