3版仪器分析第4节-射线光电子能谱课件.pptVIP

第十五章一、基本原理

X射线光谱与电principles

二、X射线光电子能谱分析

子能谱分析法X-rayphotoelectronspectroscopy

X-rayspectrometryand三、紫外光电子能谱分析

electronspectroscopyultravioletphotoelectron

spectroscopy

四、Auger电子能谱

第四节

Augerphotoelectronspectroscopy

X射线电子能谱分析法五、电子能谱仪

electronspectroscopy

X-rayelectron

spectroscopy

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一、基本原理

principles

电子能谱法：光致电离；

A+hA+*+e

紫外(真空)光电子能谱X射线光电子能谱Auger电子能谱

h



hh

单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子，

产生由一系列峰组成的电子能谱图，每个峰对应于一个原子

能级（s、p、d、f）；

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光电离几率和电子逃逸深度

自由电子产生过程的能量关系：

h=Eb+Ek+Er≈Eb+Ek

Eb：电子电离能(结合能)；Ek：电子的动能；Er：反冲动能

光电离几率(光电离截面)：一定能量的光子在与原子作用

时，从某个能级激发出一个电子的几率；

与电子壳层平均半径，入射光子能量，原子序数有关；

轻原子：1s/2s≈20

重原子：同壳层随原子序数的增加而增大；

电子逃逸深度：逸出电子的非弹性散射平均自由程；

：金属0.5~2nm；氧化物1.5~4nm；有机和高分子4~10nm；

通常：取样深度d=3；表面无损分析技术；

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电子结合能

原子在光电离前后状态的能量差：

Eb=E2–E1

气态试样：Eb=真空能级–电子能级差

固态试样：(选Fermi能级为参比能级)

Eb=h–sa–Ek≈h–sp–Ek

Fermi能级：0K固体能带中充满电子的最高能级；

功函数：电子由Fermi能级自由能级的能量；

每台仪器的sp固定，与试样无关，约3~4eV；Ek可由实

验测出，故计算出Eb后确定试样元素，定性基础。

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电子结合能

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二、X射线光电子能谱分析法

X-rayphotoelectronspectroscopy

光电子的能量分布曲线：采用特定元

素某一X光谱线作为入射光，实验测定的待

测元素激发出一系列具有不同结合能的电

子能谱图，即元素的特征谱峰群；

谱峰：不同轨道上电子的结合能或电

子动能；

伴峰：X射线特征峰、Auger峰、多重

态分裂峰。

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1.谱峰出现规律

(1)主量子数n小的峰比n大的峰强；

(2)n相同，角量子

数L大的峰比L小的

峰强；

(3)内量子数J大的

峰比L小的峰强；

(J=L±S；自旋

裂分峰)

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2.谱峰的物理位移和化学位移

物理位移：固体的热效应与表面荷电的作用引起的谱峰位移

化学位移：原子所处化学环境的变化引起的谱峰位移

产生原因：

(1)价态改变：内层电子受核电荷的库仑力和荷外其他电子

的屏蔽作用；电子结合能位移Eb；

结合能随氧化态增高而增加，

化学位移增大；为什么？

(2)电负性：三氟乙酸乙酯中碳

元素的

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3.电负性对化学位移的影响

三氟乙酸乙酯

电负性：FOCH

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