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- 2025-10-22 发布于河南
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非淡泊无以明志,非宁静无以致远。——诸葛亮
电子元器件失效分析技术
长风破浪会有时,直挂云帆济沧海。——李白
第一讲失效物理的概念
天将降大任于斯人也,必先苦其心志,劳其筋骨,饿其体肤,空乏其身,行拂乱其所为。——《孟子》
失效的概念
失效定义
1特性剧烈或缓慢变化
2不能正常工作
失效种类
1致命性失效:如过电应力损伤
2缓慢退化:如MESFE的TIDSS下降
3间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效
人人好公,则天下太平;人人营私,则天下大乱。——刘鹗
失效物理的概念
定义:研究电子元器件失效机理的学科失
效物理与器件物理的区别失效物理的用
途
以铜为镜,可以正衣冠;以古为镜,可以知兴替;以人为镜,可以明得失。——《旧唐书·魏征列传》
失效物理的定义
定义:研究电子元器件失效机理的学科失
效机理:失效的物理化学根源
举例:金属电迁移
不飞则已,一飞冲天;不鸣则已,一鸣惊人。——《韩非子》
金属电迁移
失效模式:金属互连线电阻值增大或开路失效机
理:电子风效应产生条件:电流密度大于
10E5A/cm2
高温
纠正措施:高温淀积,增加铝颗粒直径,掺铜,
降低工作温度,减少阶梯,铜互连、平面化工艺
穷则独善其身,达则兼善天下。——《孟子》
失效物理与器件物理的区别
撤销应力后电特性的可恢复性时间性
吾日三省乎吾身。为人谋而不忠乎?与朋友交而不信乎?传不习乎?——《论语》
失效物理的用途
1失效分析:确定产品的失效模式、失效机
理,提出纠正措施,防止失效重复出现
2可靠性评价:根据失效物理模型,确定模
拟试验方法,评价产品的可靠性
长风破浪会有时,直挂云帆济沧海。——李白
可靠性评价的主要容
产品抗各种应力的能力
产品平均寿命
子曰:“知者不惑,仁者不忧,勇者不惧。”——《论语》
失效物理模型
应力-强度模型失效原因:应力强度强度随时间
缓慢减小如过电应力(EOS)、静电放电(静电放电
ESD)、闩锁
(latchup)应力-时间模型(反应论模型)失效原
因:应力的时间累积效应,特性变化超差。如金属电迁
移、腐蚀、热疲劳
应力一强度模型的应用
器件抗静电放电(ESD能力的测试
天将降大任于斯人也,必先苦其心志,劳其筋骨,饿其体肤,空乏其身,行拂乱其所为。——《孟子》
温度应力-时间模型
dM-kTdt
Ae
T高,反应速率大,寿命短
E大,反应速率小,寿命长
人
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