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2025年第39卷第2期测试技术学报Vol.39No.22025

（总第170期）JOURNALOFTESTANDMEASUREMENTTECHNOLOGY（SumNo.170）

文章编号：1671-7449（2025）02-0155-09J.TestMeasur.Technol.,2025,39(2):155-163.

一种基于遗传算法的单弹光调制高速椭偏技术

1，21，2*21，221，222

徐承雨，张瑞，薛鹏，郭浩杰，王赛飞，吕健宁，武振涛，王志斌

（1.中北大学信息与通信工程学院，山西太原030051；

2.中北大学山西省智能微波光电技术创新中心，山西太原030051）

摘要：针对单弹光椭偏测量技术需锁相多个周期信号、无法快速获得样品光学椭偏参数和薄膜厚度等问

题，提出一种基于弹光调制器（PEM）偏振调制和单调制周期遗传算法参数提取的高速单弹光调制椭偏测量

方法，该方法的时间分辨率可达μs量级。为保证算法的精度与稳定性，利用系统输出单个调制周期干涉信

δ

号的极值对系统PEM的相位延迟幅值（）进行校准并且确定样品的光学椭偏参数范围。通过该校准方法

peak

可以确定待测参数范围，大幅缩短计算时间，提升计算精度。对空气以及61.4nm和100nm厚度的硅上镀

δ

二氧化硅样片进行测量，实验表明该系统PEM的静态相位延迟（）在测量范围内稳定波动，最大偏差为

static

δR2

0.0073rad，标准差为0.0033rad，peak与FPGA输出信号的占空比线性拟合系数为0.9995；样品薄膜测

量厚度与其真值的相对误差小于0.1%且偏差在1nm以内，椭偏参量测量所需调制信号时间为8.3μs，较传

统弹光锁相椭偏方法快1~2数量级。该方法实现的高速单弹光调制椭偏测量技术具有较高的精度和稳定

性，为后续研究高速多弹光调制椭偏技术奠定基础。

关键词：高速椭偏测量；弹光调制；遗传算法；图像拟合仿真

中图分类号：TP212文献标识码：Adoi:10.62756/csjs.1671-7449.2025021

引用格式：徐承雨，张瑞，薛鹏，等.一种基于遗传算法的单弹光调制高速椭偏技术［J］.测试技术学报，2025，

39（2）：155-163.

XUChengyu，ZHANGRui，XUEPeng，etal.Ahighspeedellipsomet