光线斜入射对膜系的影响光学镀膜技术颜劲仁81课件.pptx

光线斜入射对膜系的影响光学镀膜技术主讲人：颜劲仁

光学镀膜技术

光线垂直入射

光线倾斜入射

当光线斜入射时对膜系光学导纳带来的影响

当入射角θi不是很大时，可以忽略膜系导纳的变化，只考虑膜系光学厚度的变化。光学厚度：光线斜入射对膜系的影响当光线倾斜于薄膜表面入射时，各种膜系的中心波长会向短波方向飘移，通带的形状会发生变化，截止斜率变缓。光线入射角较小时θiθtθrNdNdcosθ膜系的光学特性向短波方向偏移。

入射角θi变大时，膜系的导纳会发生变化，导致S偏振光和P偏振光的光学特性发生变化。整个膜系的光谱特性曲线也发生相应变化。光线斜入射对膜系的影响当光线倾斜于薄膜表面入射时，各种膜系的中心波