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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体纯化技术发展现状 3

    1、当前技术水平与国际对比 3

    主流纯化工艺路线及成熟度 3

    关键设备与材料国产化率 5

    2、产业链结构与本土企业布局 6

    上游原材料供应能力 6

    中下游纯化与封装环节集中度 7

    二、核心技术突破方向与研发进展 9

    1、高纯度气体纯化关键技术 9

    低温精馏与吸附耦合技术 9

    膜分离与催化纯化集成方案 10

    2、杂质检测与控制能力提升 11

    级痕量杂质在线监测技术 11

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