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2025《等离子体化学气相沉积基础概述》2600字.docx

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    等离子体化学气相沉积基础概述

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    TOC\o1-3\h\u5371等离子体化学气相沉积基础概述 1

    167621.1等离子体的基本知识 1

    149821.1.1等离子体的定义 1

    310271.1.2等离子体的特性与分类 2

    39501.2等离子体的元过程 3

    99661.1.1等离子体的碰撞过程 3

    79431.1.2荷电粒子的消失过程 4

    213391.3等离子体化学气相沉积 5

    1.1等离子体的基本知识

    1.1.1等离子体的定义

    等离子体（Plasma）的定义是由Langmuri[23]第

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