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干涉仪测量面形主讲人：程海娟光学零件制造工艺

光学零件制造工艺

干涉仪测量面形

使用干涉仪测量光学元件的面形是光学检测的核心技术之一，精度可达纳米级。

测量原理利用光的干涉原理进行面形测量。当两束相干光波相遇时，会在空间中形成明暗相间的干涉条纹。通过分析这些干涉条纹的分布，可以计算出被测表面的面形偏差。

干涉仪测量面形光的干涉：当两束或多束相干光波相遇时，会在空间中形成明暗相间的干涉条纹。

干涉条纹的形成：干涉仪通过分光棱镜将一束光分为两束，分别经过参考光路和被测光路后再次相遇，形成干涉条纹。干涉仪测量面形

使用干涉仪测量透镜面形是一种高精度的检测方法，广泛应用于光学元件的制造和质量控制。干涉仪测量面形

干涉仪测量面形步骤

测量步骤清洁透镜和干涉仪：使用无尘布或专用清洁工具清洁透镜表面和干涉仪的光学元件，确保表面无尘、无油污。按照干涉仪的使用说明书进行校准，确保仪器的精度符合要求。1.准备阶段

2.数据采集放置透镜：将被测透镜放置在干涉仪的测量位置，确保透镜的待测面与干涉仪的参考面平行。测量步骤

2.数据采集放置透镜：将被测透镜放置在干涉仪的测量位置，确保透镜的待测面与干涉仪的参考面平行。调整光路：调整干涉仪的光路，使参考光束和测试光束能够准确地照射到透镜表面。测量步骤

2.数据采集放置透镜：将被测透镜放置在干涉仪的测量位置，确保透镜的待测面与干涉仪的参考面平行。调整光路：调整干涉仪的光路，使参考光束和测试光束能够准确地照射到透镜表面。采集干涉条纹：启动干涉仪，采集透镜表面的干涉条纹图像。通常使用CCD相机或类似设备进行图像采集。测量步骤

测量步骤分析干涉条纹：使用干涉仪配套的软件分析采集到的干涉条纹图像，提取面形信息。通过软件计算透镜表面的面形偏差，生成面形图。3.数据处理

干涉仪测量面形应用

应用在光学元件制造中它用于检测透镜、反射镜等元件的面形精度，确保其符合设计要求，从而提高光学系统的性能。

干涉仪用于检测高精度光学系统，如卫星望远镜和航空相机，以保证其在极端条件下的稳定性和准确性。应用在航空航天领域

它用于检测光刻机的光学系统，确保光刻图案的精确度，对微电子技术的发展至关重要。应用在半导体制造中

干涉仪还用于检测眼科光学元件，如人工晶状体，以提高视力矫正的效果。应用在生物医学领域

干涉仪测量面形特点

(1)干涉仪是非接触测量,可以避免由接触测量带来的许多弊病。如表面清洁工作的影响,温度、压力的影响等。特别适合于大口径和中心薄的工件的测量。(2)不会擦伤工作表面。特点

小结干涉仪测量面形的原理干涉仪测量面形的测量过程干涉仪测量面形的应用干涉仪测量面形的特点