使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵光学测量94课件.pptx

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵主讲人：李敏——光学测量——

光学测量

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵平行平板玻璃在光学仪器中有着广泛的应用，如目镜中的分划板、迈克尔逊干涉仪中的半透明半反射玻璃板等。

由于生产工艺的限制，平行平板玻璃可能会有瑕疵，而且瑕疵量很小很小，甚至肉眼无法看见，这肉眼无法看见的瑕疵却影响了成像质量，使像扭曲变形。使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵

泰曼干涉仪

泰曼干涉仪测量平行平板玻璃平行性瑕疵的基本原理

泰曼干涉仪利用光的干涉现象来测量光学元件表面形状和内部均匀性的精密仪器。使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的瑕疵

基本原