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半导体器件和集成电路电镀工工艺安全规程
文件名称:半导体器件和集成电路电镀工工艺安全规程
编制部门:
综合办公室
编制时间:
2025年
类别:
两级管理标准
编号:
审核人:
版本记录:第一版
批准人:
一、总则
本规程适用于半导体器件和集成电路电镀工艺过程中,涉及电镀液配制、电镀、清洗、烘干等环节的安全管理。制定本规程旨在确保电镀工在操作过程中的人身安全和设备安全,预防事故发生。基本安全原则包括:严格遵守国家安全生产法律法规,坚持预防为主、综合治理的方针,确保电镀工艺安全、环保、高效。
二、作业准备
1.防护措施:
a.操作人员
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