光学薄膜制造工艺课件摘要.pptx

光学薄膜器件性能质量好坏由两个;第四章光学薄膜制造工艺1 光;4.1光学薄膜器件的质量要求;4.1光学薄膜器件的质量要求;4、膜层填充密度薄膜聚集密度（;蒸气入射角与柱状结构的生长方向;热蒸发制备的薄膜柱状结构照片7;4.2 影响膜层质量的工艺要素;4.2.1 影响膜层质量的工艺;2.沉积速率（蒸发速率）定义沉;3.基底温度影响：膜层结构、凝;镀前轰击：离子溅射使基片再清洁;6.基片清洁13残留在基片表面;9.蒸气入射角影响膜层的生长结;工艺参数对薄膜性能的影响{2D;4.2.2.提高膜层机械强度的;③基片温度。提高基片温度有利于;4.2.3控制膜层折射率的主要;厚度的三种概念：几何厚度