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Sol-Gel法制备PZT薄膜：工艺、性能与影响因素的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与电子技术迅猛发展的浪潮中，功能性薄膜材料凭借其独特的物理性能和广泛的应用前景，成为众多科研领域的研究焦点。锆钛酸铅（PZT）薄膜作为一种典型的钙钛矿结构铁电材料，集优异的铁电、压电、热释电和介电性能于一身，在微电子、微机电系统（MEMS）、光电子等前沿领域展现出巨大的应用潜力，成为推动这些领域技术革新的关键材料之一。

在微电子领域，随着电子产品不断向小型化、集成化和高性能化方向发展，对存储器件的性能要求日益严苛。PZT薄膜凭借其出色的铁电性能，成为铁电随机存取存储器（FeRAM）