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《热加工工艺》2022年2月第51卷第4期

氧化铝陶瓷表面高度分布状态随抛光时间的

变化规律与机理研究

郭亮龙，董会，黄姝珂，潘金龙

(中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621999)

摘要：利用化学机械抛光对氧化铝陶瓷进行加工，结合表面算术平均高度Sa和均方根髙度七，研究偏斜度

和陡度Sh随抛光时间的变化规律，分析光滑表面形成机理。结果表明：随着抛光时间的延长，^和和呈先快速下降

后缓慢下降的规律;SA呈先下降后上升再波动的规律;SAu呈先上升后下降再上升的规律。塑性去除、晶粒断裂和晶粒

脱落三种作用机理是表面高度分布变化的本质，其中塑性去除作用贯穿整个抛光过程，有利于形成光滑表面；而晶粒断

裂和晶粒脱落则主要作用于较光滑表面，这也是SA和在抛光后期呈波动变化的主要原因。

关键词：氧化铝陶瓷；化学机械拋光；表高度分布；抛光机理

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.

中图分类号：TG175;TG356.21文献标识码：A文章编号：1001-3814(2022)04-0091-04

ResearchonChangingLawandGenerationMechanismofHeightDistribution

withPolishingTimeforAluminaCeramics

GUOLianglong,DONGHui,HUANGShuke,PANJinlong

(InstituteofMachineryManufacturingTechnology,ChinaAcademyofPhysicalEngineering(CAEP),Mianyang621999,

China)

AbstractThesurfaceofaluminaceramicswaspolishedbychemical：mechanicalpolishingprocess.Combinedwiththe

arithmeticmeanheightofSaandrootmeansquareheightofSq,thevariationinSsh(skewness)andSku(kurtosis)with

polishingtimewereanalyzedtorevealtheformationmechanismofsmoothsurface.TheresultsshowthatSaandSqdecrease

rapidlyfirstandthenslowlywiththepolishingtimeincreasing,whileSskdecreasesfirstandthenrisesandthenfluctuates,and

Skurisesfirstandthenfallsandthenrises.Thethreemechanismsofplasticremoval,grainfractureandintergranularfracture

arekeyfactorsthataffectedthesurfacestateofaluminaceramics.Theplasticremovalaffectstheheightdistr